电子洁净厂房新风全热回收节能

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项目背景

半导体封装洁净厂房对温湿度要求严苛，新风需求量大。

面临挑战

新风除湿、降温能耗占空调系统比重高，且负荷波动影响良率。

解决方案

采用热回收新风机组（转轮全热）预处理新风，并与转轮式换热器联动回收排风能量。

实施成效

空调除湿负荷下降约 30%，室内温湿度更稳，制程良率提升。

电子洁净厂房全热回收

电子洁净厂房换气次数极高，新风负荷占空调能耗大头。全热回收在引入新风时同步回收温度与湿度，可显著削减冷热源与加湿负荷。配合多级过滤与压差控制，兼顾节能与洁净度要求。

过滤与压差

电子洁净对微粒控制极严，热回收段应合理配置高效过滤，确保送风洁净度不受影响，并维持房间压差梯度。

过滤与压差

电子洁净对微粒控制极严，热回收段应合理配置高效过滤，确保送风洁净度不受影响，并维持房间压差梯度，满足工艺对环境的高标准要求。

洁净厂房改造应同步校核空调箱余压与过滤阻力，避免连锁影响；任何新增段都应在系统风量平衡范围内设计。

任何新增段都应在系统风量平衡范围内设计，改造后重新校核空调箱余压与过滤阻力，确保送风洁净度与房间压差梯度不被破坏，维持工艺环境稳定。